图解入门 半导体制造工艺基础精讲（原书第4版）

内容简介

本书力求深入浅出、浅显易懂。面向的对象既包含具有一定半导体知识的读者，也包含与半导体商务相关的人士、准备涉足半导体领域的人士、感兴趣的职场人士、学生等。书中包含了专业性的描述，但大多数内容都尽量写得通俗易懂。有些地方如果不能马上理解，积累经验后再读就容易理解了。此外，对于有一定经验的读者，通过整理自己的知识，尝试去理解相关联的其他领域，也不失为一种有益的方法。

作者简介

1988~2000：电子工业部47所 高级工程师

2000~2008：东京工业大学 特任副教授

2008~至今：电子科技大学 教授